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| »ù±¾²ÎÊý | ²ÎÊýÖµ |
| µ¥»ú²úÄÜ | 10-30PPM |
| ÊÊÓõçо³ß´ç | 140-250mm(W), 85-220mm(H), 20-80mm(T) |
| º¸½ÓλÖþ«¶È | ≤±0.3mm |
| ºÏоºó´íλ | ≤±0.5mm |
| ¼¤¹âº¸½ÓËÙ¶È | ≥130mm/s |