1. ËÅ·þÕÅÁ¦¿ØÖÆÏµÍ³£¬ÕÅÁ¦Îȶ¨£¬ÕÅÁ¦·¶Î§10~100N£¬²¨¶¯·¶Î§±3N
2. ·ÖÇпí¶ÈCCD¼ì²â±Õ»··´À¡¿ØÖÆÏµÍ³£¬¿í¶È¾«¶È¿É´ï ±0.2mm
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| »ù±¾²ÎÊý | ²ÎÊýÖµ |
| ·ÖÇÐËÙ¶È | 100m/min |
| ÁϾí¿í¶È·¶Î§ | 120-550mm |
| ·ÖÇпí¶ÈÎó²î | ≤±0.3mm |
| ¶ËÃæ×ÝÏòÆ½ÃæÃ«´Ì | ≤7µm |
| ·ÖÇбßÔµÉßÐÎÆ«ÒÆ | ≤0.5mm/m |
| ÊÕ¾í±ßÔµ¶ÔÆë¶È | ≤±0.5mm |
| ë´Ì¾«¶È | Æ½Ãæ·½Ïò£º≤15µm |